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| 有效期至长期有效 | 最后更新2019-09-16 07:14 |
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变异源分析案例
课程大纲
变异源分析介绍
1． 变异源研究的重要性
2． SOV 研究的目的
3． 分解总的变异源
4． 变异性研究的二个类型
5． SOV 与持续改进的关系
6． SOV 研究的优点与不足
Multi-vari 分析: SOV 的图形化方法
1．Multi-vari Analysis (MVA) 介绍
2．SOV 的主要属
3．变异属的例子
4．分解方差的模型
5．一个Wafer加工厂的过程分析例子
6．Multi-vari 分析
7．MVA 分析的角色
8．MVA 怎样实施
9．MVA 分析执行指引
10．利用Minitab创建一个Multi-vari Chart
11．嵌套与交叉因子及应用
过程 SOV 研究
1．方差分析 (ANOVA)
2．利用Minitab进行方差分析 (ANOVA)
3．SOV 的量化：
4．计算方差组成
5．均方和（Mean Squares）
6．生成一个菜单(Recipe)的 SOV
7．实例分析
测量系统的 SOV 分析（计量型）
1．定义基本的测量术语
2． 略述进行计量型测量系统SOV研究的程序
3． 进行练习来实践测量方法化
测量系统的SOV分析（计数型）
1． 定义基本的测量术语
2． 略述进行计数型测量系统SOV研究的程序
3． 进行练习来实践测量方法化
4． Kappa技术
5． 改善属性测量系统
ANOVA
1． 几个概念
2． 单因子方差分析
3． 两因子方差分析
相关性与回归分析
1． 定义并计算相关系数
2． 讨论相关性及因果关系
3． 绘制并分析拟合直线图
4． 介绍回归分析的基本知识
5． 使用回归分析技术建立数学预测模型
SOV 案例分析
1． SOV Standard Format Report
2． 变异来源分析报告：HAI 大角度离子注入机
3． Source of variation report: sac3 Vtp bad uniformity
4． SOV Report :HVNATVT Trend & PW Implanter Performance
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